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Trudy FTIAN. T. 27. Kvantovye kompjutery, mikro- i nanoėlektronika: fizika, technologija, diagnostika i modelirovanie (978-5-02-040089-4)


Katalog: Fortsetzungen der Serien und Mehrbändigen Reihen -> Wissenschaft. Mathematik. Physik. Chemie. Biologie.
Kein Bild.
Titel:
Trudy FTIAN. T. 27. Kvantovye kompjutery, mikro- i nanoėlektronika: fizika, technologija, diagnostika i modelirovanie 
Autor:
 
Verleger:
Nauka
Erscheinungsort:
Sankt-Peterburg  (Russland)
Erscheinungsjahr:
2018 
Seitenanzahl:
138, Broschiert 
Serie:
 
ISBN:
978-5-02-040089-4
EAN:
9785020400894
Preis:
EUR 29,00
Lieferzeit:
Lieferbar innerhalb von ca. 4-6 Wochen
Anmerkungen:
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Monografičeskij sbornik predstavljaet teoretičeskie i ėksperimentalnye rezultaty, polučennye sotrudnikami Instituta v oblasti fiziki, modelirovanija i technologij peredovych nanotranzistornych struktur dlja logičeskich intefalnych schem (UBIS), nanostruktur dlja tverdotelnych generatorov teragercovogo diapazona častot. Predstavleny issledovanija ključevych technologičeskich processov izgotovlenija takich priborov s kritičeskimi razmerami 11–32 nm: ėlektronno-lučevoj litografii, plazmennogo nano-strukturirovanija, atomno-sloevogo osaždenija diėlektrikov i metallov. Privodjatsja rezultaty v oblasti mikrostrukturirovanija poristych low-k diėlektrikov dlja sistem mnogourovnevoj metallizacii. Bolšinstvo issledovanij provedeno v ramkach Programmy FNI FANO Rossii.