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Mikroėlektronika (0544-1269)



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Titel:
Mikroėlektronika 
Autor:
akad. Orlikovskij Aleksandr Aleksandrovič 
Verleger:
RAN
Erscheinungsort:
  (Russland)
Erscheinungsjahr:
2018 
Seitenanzahl:
Serie:
Informatika 
ISBN:
0544-1269
EAN:
05441269
Preis:
EUR 358,00
Lieferzeit:
Lieferbar innerhalb von ca. 4-6 Wochen
Anmerkungen:
-

Osnovan v 1972 g. Žurnal «Mikroėlektronika» publikuet stati, posvjaščennye technologičeskim, fizičeskim i schemotechničeskim aspektam mikro- i nanoėlektroniki. Osoboe vnimanie izdanie udeljaet novym tendencijam v litografii, travleniju, legirovaniju, osaždeniju i planarizacii na submikronnom i nanometrovom urovnjach, plazmennym technologijam, molekuljarno-pučkovoj ėpitaksii i suchomu travleniju, a takže metodam issledovanija i kontrolja poverchnostej i mnogoslojnych struktur. Obsuždajutsja voprosy priborno-technologičeskogo modelirovanija i diagnostiki technologičeskich processov v realnom vremeni. Publikujutsja stati o poluprovodnikovych priborach na baze novych fizičeskich javlenij, takich kak kvantovye razmernye ėffekty i sverchprovodimost.